MEMS resonators actuated by TbCo/FeCo ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/SENSOR.2009.5285961
Title :
MEMS resonators actuated by TbCo/FeCo nanostructured magnetostrictive multilayers in liquid environment
Author(s) :
Ducloux, O. [Auteur]
Park, J.W. [Auteur]
Tiercelin, Nicolas [Auteur] refId
Pernod, Philippe [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Preobrazhensky, Vladimir [Auteur]
Hamon, M. [Auteur]
Sakai, Y. [Auteur]
Fujita, H. [Auteur]
Conference title :
15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2009
Book title :
Proceedings of the 15th International Conference on Solid State Sensors, Actuators and Microsystems, Transducers 2009
Publisher :
_
Publication date :
2009
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL