Micromachining of an SU-8 flapping-wing ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
10.1088/0960-1317/19/8/085028
Titre :
Micromachining of an SU-8 flapping-wing flying micro-electro-mechanical system
Auteur(s) :
Dargent, Thomas [Auteur] refId
Bao, X.Q. [Auteur]
Grondel, Sebastien [Auteur] refId
Le Brun, G. [Auteur]
Paquet, J.B. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Cattan, Eric [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Journal of Micromechanics and Microengineering
Pagination :
085028-1-10
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2009
ISSN :
0960-1317
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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