Capillary microchannel fabrication using ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
URL permanente :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/50386
Titre :
Capillary microchannel fabrication using plasma polymerized TMDS for fluidic MEMS technology
Auteur(s) :
Abbas, A. [Auteur]
Supiot, P. [Auteur]
Mille, V. [Auteur]
Guillochon, D. [Auteur]
Bocquet, B. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Éditeur :
IOP Publishing
Date de publication :
2009
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Date de dépôt :
2021-07-27T19:04:02Z