Composant électromécanique vibrant à ...
Type de document :
Brevet
Titre :
Composant électromécanique vibrant à l'échelle nanométrique ou micrométrique à niveau de détection augmenté
Auteur(s) :
Casset, F. [Auteur]
Durand, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Durand, C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2009-04-10
Numéro du brevet :
FR2921916 (A1)
Langue :
Français
Commentaire :
n° de priorité : FR20070058173 20071009 ; également publié en tant que : WO2009047266 (A1) 2009-04-16 ; EP2201681 (A1) 2010-06-30 ; US2010289096 (A1) 2010-11-18 ; JP2010540266 (A) 2010-12-24 ; EP2201681 (B1) 2011-02-23 ; AT499745 (T) 2011-03-15 ; FR2921916 (B1) 2011-04-29
Source :