PZT films etched by focused Ga+ ion beam ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
PZT films etched by focused Ga+ ion beam : study of ion damage and post annealing treatment effects
Auteur(s) :
Wang, S. [Auteur]
Troadec, david [Auteur] refId
Deresmes, D. [Auteur]
Liang, R. [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur] refId
Remiens, Denis [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Quignon, S. [Auteur]
da Costa, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur] refId
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 19th International Symposium on Integrated Ferroelectrics, ISIF-19
Ville :
Bordeaux
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL