A new four states high deflection low ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes: Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...)
DOI :
10.1109/DTIP.2008.4752952
Permalink :
http://hdl.handle.net/20.500.12210/50946
Title :
A new four states high deflection low actuation voltage electrostatic MEMS switch for RF applications
Author(s) :
Robin, R. [Auteur]
Touati, S. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Millet, O. [Auteur]
Buchaillot, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Country :
France
Start date of the conference :
2008
Book title :
Proceedings of the 2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS, DTIP 2008
Publisher :
_
Publication date :
2008
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
Submission date :
2021-07-27T19:45:16Z