Complete thin film mechanical characterization ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
DOI :
Titre :
Complete thin film mechanical characterization using picosecond ultrasonics and nanostructured transducers : experimental demonstration on SiO2
Auteur(s) :
Mante, P.A. [Auteur]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]

Devos, Arnaud [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la revue :
Applied Physics Letters
Pagination :
071909-1-3
Éditeur :
American Institute of Physics
Date de publication :
2008
ISSN :
0003-6951
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :