Title :

Piezoelectric evaluation of ion beam etched Pb(Zr,Ti)O3 thin films by piezoresponse force microscopy

Author(s) :

Legrand, C. [Auteur]
da Costa, A. [Auteur]
Desfeux, Rachel [Auteur]
Soyer, Caroline [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Journal title :

Applied Surface Science

Pages :

4942-4946

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2007

ISSN :

0169-4332

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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