MEMS electromechanical resonators for RF ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
MEMS electromechanical resonators for RF applications
Author(s) :
Casset, F. [Auteur]
Durand, C. [Auteur]
Abele, N. [Auteur]
Segueni, K. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ionescu, A.M. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Conference title :
16ème Forum de l'Interconnexion et du Packaging Microélectronique, INTERCONEX 2006
City :
Besançon
Country :
France
Start date of the conference :
2006
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL