Stabilité des interactions silicium-hydrogène ...
Type de document :
Partie d'ouvrage
Titre :
Stabilité des interactions silicium-hydrogène sous irradiation optique ou électronique dans les semiconducteurs à base de GaAs. Application à la fiabilité et à la nanofabrication de composants III-V
Auteur(s) :
Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Date de publication :
2002
Langue :
Français
Audience :
Non spécifiée
Source :