Title :

Mechanical properties determined by nanoindentation tests of Pb(Zr,Ti)03 and Pb(Mg,Nb)Ti03 sputtered thin films

Author(s) :

Delobelle, Patrick [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]

Journal title :

Thin Solid Films

Pages :

pp. 1385-1393

Publisher :

Elsevier

Publication date :

2006

ISSN :

0040-6090

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL