Titre :

Mechanical properties determined by nanoindentation tests of Pb(Zr,Ti)03 and Pb(Mg,Nb)Ti03 sputtered thin films

Auteur(s) :

Delobelle, Patrick [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]

Titre de la revue :

Thin Solid Films

Pagination :

pp. 1385-1393

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2006

ISSN :

0040-6090

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]/Mécanique [physics.med-ph]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL