Titre :

Fabricating conductive microstructures by direct electron beam writing on hydrogenated n-type Si-doped GaAs

Auteur(s) :

Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Sieber, B. [Auteur]

Titre de la revue :

Applied Physics Letters

Pagination :

2731-2733

Éditeur :

American Institute of Physics

Date de publication :

2000

ISSN :

0003-6951

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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