Title :

Fabricating conductive microstructures by direct electron beam writing on hydrogenated n-type Si-doped GaAs

Author(s) :

Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Bernard-Loridant, D. [Auteur]
Sieber, B. [Auteur]

Journal title :

Applied Physics Letters

Pages :

2731-2733

Publisher :

American Institute of Physics

Publication date :

2000

ISSN :

0003-6951

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL