Fabricating conductive microstructures by ...
Document type :
Article dans une revue scientifique
Title :
Fabricating conductive microstructures by direct electron beam writing on hydrogenated n-type Si-doped GaAs
Author(s) :
Silvestre, S. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Bernard-Loridant, D. [Auteur]
Sieber, B. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Constant, E. [Auteur]
Bernard-Loridant, D. [Auteur]
Sieber, B. [Auteur]
Journal title :
Applied Physics Letters
Pages :
2731-2733
Publisher :
American Institute of Physics
Publication date :
2000
ISSN :
0003-6951
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :