In situ deposition of sputtered PZT films: ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
In situ deposition of sputtered PZT films: control of the growth temperature by the sputtered lead flux
Auteur(s) :
Velu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Titre de la revue :
Vacuum
Pagination :
199-204
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2000
ISSN :
0042-207X
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :