Determination of the electrical properties ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Determination of the electrical properties of thermally grown ultrathin nitride films
Auteur(s) :
Pic, N. [Auteur]
Glachant, A. [Auteur]
Nitsche, S. [Auteur]
Hoarau, J.Y. [Auteur]
Goguenheim, D. [Auteur]
Vuillaume, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Sibai, A. [Auteur]
Chaneliere, C. [Auteur]
Titre de la revue :
Microelectronics Reliability
Pagination :
589-592
Éditeur :
Elsevier
Date de publication :
2000
ISSN :
0026-2714
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL