Thermal and electrostatic reliability ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Thermal and electrostatic reliability characterization in RF MEMS switches
Author(s) :
Duong, Q.H. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Schmitt, P. [Auteur]
Lafontan, X. [Auteur]
Pons, Patrick [Auteur]
Flourens, F. [Auteur]
Pressecq, F. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Collard, D. [Auteur]
Schmitt, P. [Auteur]
Lafontan, X. [Auteur]
Pons, Patrick [Auteur]
Flourens, F. [Auteur]
Pressecq, F. [Auteur]
Journal title :
Microelectronics Reliability
Pages :
1790-1793
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
ISSN :
0026-2714
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :