Title :

PZT thin film bi-layer devices for improved actuation in MEMS

Author(s) :

Jenkins, D.F.L. [Auteur]
Clegg, W.W. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Remiens, Denis [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Start date of the conference :

2001

Book title :

Proceedings of the 12th IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics, ISAF 2000

Publisher :

IEEE, Piscataway, NJ, USA

Publication date :

2001

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL