3D self-assembling and actuation of ...

Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
3D self-assembling and actuation of electrostatic microstructures
Author(s) :
Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Buchaillot, Lionel [Auteur] refId
Collard, D. [Auteur]
Journal title :
IEEE Transactions on Electron Devices
Pages :
1833-1839
Publisher :
Institute of Electrical and Electronics Engineers
Publication date :
2001
ISSN :
0018-9383
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Collections :
Source :
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