Elastic properties of silicate glass and ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Elastic properties of silicate glass and silicon nitride films for submicron electronic devices
Auteur(s) :
Carlotti, G. [Auteur]
Colpani, P. [Auteur]
Piccolo, D. [Auteur]
Santucci, S. [Auteur]
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Socino, G. [Auteur]
Verdini, L. [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
Proceedings of the 17th International Congress on Acoustics, ICA 2001
Ville :
Roma
Pays :
Italie
Date de début de la manifestation scientifique :
2001
Date de publication :
2001
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL