Mechanical properties of thin film materials ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Mechanical properties of thin film materials for the 2D numerical analysis of deep submicron CMOS technologies
Author(s) :
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlotti, G. [Auteur]
de Wolf, I. [Auteur]
Balboni, R. [Auteur]
Benedetti, A. [Auteur]
Piccolo, D. [Auteur]
Mastracchio, G. [Auteur]
Conference title :
Proceedings of the 2001 Material Research Society Fall Meeting
City :
Boston, MA
Country :
Etats-Unis d'Amérique
Start date of the conference :
2001
Publication date :
2001
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL