Title :

Influence of annealing treatments on the physical properties of c-BN films synthesized by IBAD technique

Author(s) :

Djouadi, M. A. [Auteur]
Soltani, Ali [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Thévenin, P. [Auteur]
Bath, A. [Auteur]
Nouet, G. [Auteur]

Journal title :

Advanced Engineering Materials

Pages :

616-619

Publisher :

Wiley

Publication date :

2002

ISSN :

1438-1656

Language :

Anglais

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL