Conception d'un dispositif de commande à distance pour des actionneurs électrostatiques microsystèmes

Type de document :

Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes

Titre :

Auteur(s) :

Basset, Philippe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Stefanelli, B. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Titre de la manifestation scientifique :

Colloque CAO des Circuits Intégrés et Systèmes

Ville :

Paris

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2002

Date de publication :

2002

Langue :

Français

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

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