Transmission electron microscopy of silicides ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Transmission electron microscopy of silicides used in ALSB-SOI MOSFET structure
Author(s) :
Katcki, J. [Auteur]
Ratajczak, J. [Auteur]
Laszcz, A. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Larrieu, G. [Auteur]
Baie, X. [Auteur]
Start date of the conference :
2004
Book title :
Institute of Physics Conference Series, 180
Publisher :
Institute of Physics
Publication date :
2004
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL