Electron-beam-induced reactivation of Si ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Electron-beam-induced reactivation of Si dopants in hydrogenated 2D AlGaAs heterostructures : a possible new route of fabricating III-V nanostructures
Auteur(s) :
Kurowski, L. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Bernard, Dorothee [Auteur]
Constant, E. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
7th International Workshop on Beam Injection Assessment of Microstructures in Semiconductors
Ville :
Lille
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2003
Date de publication :
2003
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :