Titre :

Tapping-mode HF nanometric lateral gap resonators : experimental and theory

Auteur(s) :

Quevy, E. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Legrand, Bernard [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]

Date de début de la manifestation scientifique :

2003

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the 12th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems, TRANSDUCERS'03

Éditeur :

IEEE, Piscataway, NJ, USA

Date de publication :

2003

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

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