Stress engineering in Si based micro ...

Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Stress engineering in Si based micro structures using technology computer-aided design
Auteur(s) :
Senez, V. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Armigliato, A. [Auteur]
Carlotti, G. [Auteur]
Carnevale, G. [Auteur]
Jaouen, H. [Auteur]
de Wolf, I. [Auteur]
Titre de la revue :
IEICE Transactions on Electronics
Pagination :
284-294
Éditeur :
Institute of Electronics, Information and Communication Engineers
Date de publication :
2003
ISSN :
0916-8524
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL