Performance of Pt-based low Schottky barrier ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Performance of Pt-based low Schottky barrier silicide contacts on weakly doped silicon
Author(s) :
Larrieu, G. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dubois, Emmanuel [Auteur] refId
Wallart, Xavier [Auteur] refId
Start date of the conference :
2003
Book title :
Materials Research Society Symposium Proceedings, 765
Publisher :
Materials Research Society, Warrendale, PA, USA
Publication date :
2003
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL