La résine photolithographiable SU-8 aspects ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
La résine photolithographiable SU-8 aspects chimiques et technologiques de la fabrication de microsystèmes
Auteur(s) :
Chuda, K. [Auteur]
Coqueret, X. [Auteur]
Carlier, Julien [Auteur] refId
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, Steve [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Thomy, Vincent [Auteur] refId
Druon, C. [Auteur]
Tabourier, P. [Auteur]
Camart, Jean-Christophe [Auteur] refId
Titre de la manifestation scientifique :
Polymérisations sous Rayonnement, PolyRay
Ville :
Villeneuve d Ascq
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2004
Date de publication :
2004
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL