Metrology of thin dielectric films using ...

Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Metrology of thin dielectric films using picosecond ultrasonics
Author(s) :
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cote, R. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of the 2005 World Congress on Ultrasonics
Publisher :
Elsevier
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL