Metrology of thin dielectric films using picosecond ultrasonics

Type de document :

Communication dans un congrès avec actes

Titre :

Auteur(s) :

Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Cote, R. [Auteur]
Caruyer, G. [Auteur]

Date de début de la manifestation scientifique :

2005

Titre de l’ouvrage :

Proceedings of the 2005 World Congress on Ultrasonics

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2005

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Non spécifiée

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

Metrology of thin dielectric films using ... BibTeX CSV Excel RIS