Titre :

Biaxial initial stress characterization of bilayer gold RF-switches

Auteur(s) :

Yacine, K. [Auteur]
Flourens, F. [Auteur]
Bourrier, David [Auteur]
Salvagnac, Ludovic [Auteur]
Calmont, P. [Auteur]
Lafontan, X. [Auteur]
Duong, Q.H. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Peyrou, D. [Auteur]
Pons, Patrick [Auteur]
Plana, Robert [Auteur]

Titre de la revue :

Microelectronics Reliability

Pagination :

1776-1781

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2005

ISSN :

0026-2714

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL