L'acoustique picoseconde : un outil de ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
L'acoustique picoseconde : un outil de métrologie mécanique de couches minces appliqué à la microéléctronique
Author(s) :
Emery, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Devos, Arnaud [Auteur]
Conference title :
10èmes Journées de la Matière Condensée, JMC10
City :
Toulouse
Country :
France
Start date of the conference :
2006
Publication date :
2006
Language :
Français
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :