L'acoustique picoseconde : un outil de ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
L'acoustique picoseconde : un outil de métrologie mécanique de couches minces appliqué à la microéléctronique
Auteur(s) :
Emery, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Devos, Arnaud [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Devos, Arnaud [Auteur]
Titre de la manifestation scientifique :
10èmes Journées de la Matière Condensée, JMC10
Ville :
Toulouse
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2006
Date de publication :
2006
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :