Benzocyclobutene wafer bonding for III-V ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Benzocyclobutene wafer bonding for III-V nanophotonic guiding structures
Author(s) :
Lauvernier, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Garidel, S. [Auteur]
Mc Murtry, S. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Garidel, S. [Auteur]
Mc Murtry, S. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Journal title :
Electronics Letters
Pages :
1170-1172
Publisher :
IET
Publication date :
2005
ISSN :
0013-5194
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :