Benzocyclobutene wafer bonding for III-V ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Benzocyclobutene wafer bonding for III-V nanophotonic guiding structures
Auteur(s) :
Lauvernier, D. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Garidel, S. [Auteur]
Mc Murtry, S. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Vilcot, Jean-Pierre [Auteur]
Garidel, S. [Auteur]
Mc Murtry, S. [Auteur]
Decoster, Didier [Auteur]
Titre de la revue :
Electronics Letters
Pagination :
1170-1172
Éditeur :
IET
Date de publication :
2005
ISSN :
0013-5194
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :