Bulk microswitch for power RF applications
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Bulk microswitch for power RF applications
Author(s) :
Muller, P. [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ziaei, A. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ziaei, A. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Start date of the conference :
2005
Book title :
Proceedings of the 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2005
Publisher :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Publication date :
2005
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Popular science :
Non
Source :