Bulk microswitch for power RF applications
Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Bulk microswitch for power RF applications
Auteur(s) :
Muller, P. [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ziaei, A. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Rolland, Nathalie [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ziaei, A. [Auteur]
Polizzi, J.P. [Auteur]
Collard, D. [Auteur]
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Date de début de la manifestation scientifique :
2005
Titre de l’ouvrage :
Proceedings of the 18th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2005
Éditeur :
IEEE, Piscataway, NJ, USA
Date de publication :
2005
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Source :