Methyl radical beam sources for ultra high ...
Type de document :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Titre :
Methyl radical beam sources for ultra high vacuum applications
Auteur(s) :
Gehin, T. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wallart, Xavier [Auteur]
Vignaud, Dominique [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wallart, Xavier [Auteur]

Vignaud, Dominique [Auteur]

Titre de la revue :
Physica Status Solidi A (applications and materials science)
Pagination :
2085-2090
Éditeur :
Wiley
Date de publication :
2005
ISSN :
1862-6300
Langue :
Anglais
Vulgarisation :
Non
Source :