Methyl radical beam sources for ultra high vacuum applications

Type de document :

Compte-rendu et recension critique d'ouvrage

Titre :

Auteur(s) :

Gehin, T. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wallart, Xavier [Auteur]

Titre de la revue :

Physica Status Solidi A (applications and materials science)

Pagination :

2085-2090

Éditeur :

Wiley

Date de publication :

2005

ISSN :

1862-6300

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

Source :

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