Usinage de membranes diélectriques sur ...
Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues
Auteur(s) :
Salzenstein, Patrice [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Dupuis, Olivier [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Lheurette, Eric [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Actes de la 3e Journée Nationale Microtechnologies, Lyon, 25 Mars 1996
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
1996
Date de publication :
1996
Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Non spécifiée
Vulgarisation :
Non
Commentaire :
P. Salzenstein, O. Dupuis, E. Lheurette, "Usinage de membranes diélectriques sur GaAs: applications aux structures coplanaires suspendues", 3e Journée Nationale Microtechnologies, Lyon, 25 Mars 1996, pp. 112-113
Source :