Determination by nanoindentation method ...
Document type :
Compte-rendu et recension critique d'ouvrage
Title :
Determination by nanoindentation method of sputtered PZT films mechanical parameters for Si-MEMS applications
Author(s) :
Delobelle, Patrick [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, Olivier [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Soyer, S. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]
Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Fribourg-Blanc, E. [Auteur]
Guillon, Olivier [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Soyer, S. [Auteur]
Cattan, Eric [Auteur]

Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Remiens, Denis [Auteur]

Matériaux et Acoustiques pour MIcro et NAno systèmes intégrés - IEMN [MAMINA - IEMN]
Journal title :
Integr. Ferroelectrics
Pages :
pp. 213-221
Publication date :
2005
HAL domain(s) :
Physique [physics]/Mécanique [physics]/Mécanique des matériaux [physics.class-ph]
Language :
Anglais
Popular science :
Non
Source :