Investigation of mechanical modes coupling ...

Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Title :
Investigation of mechanical modes coupling in silicon nitride drum resonators at room temperature
Author(s) :
Pokharel, A [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Venkatachalam, Srisaran [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Xu, H [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Zhou, Xin [Auteur]
Nano and Microsystems - IEMN [NAM6 - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Conference title :
17èmes journées de la matière condensée, JMC17
City :
Rennes
Country :
France
Start date of the conference :
2021-08-24
HAL domain(s) :
Physique [physics]
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Comment :
ORAL
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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  • https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03381547/file/abstract_verFinal.pdf
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