Title :

Versatile microfabricated alkali vapor cells using local sealing

Author(s) :

Maurice, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Chutani, Ravinder [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlé, Clément [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Keshavarzi, Shervin [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Queste, S. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Gauthier-Manuel, Ludovic [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cote, Jean-Marc [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Vicarini, Rémy [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Boudot, Rodolphe [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Passilly, Nicolas [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]

Conference title :

2022 International Frequency Control Symposium-European Frequency (IFCS-EFTF 2022)

City :

Paris

Country :

France

Start date of the conference :

2022-04-24

Book title :

2022 International Frequency Control Symposium-European Frequency (IFCS-EFTF 2022)

English keyword(s) :

alkali vapor cells
microfabrication
atomic devices

HAL domain(s) :

Sciences de l'ingénieur [physics]

English abstract : [en]

We report on a new technique to form and seal microfabricated cells that alleviates some of the limitations imposed by current solutions. The technique consists in integrating single-use sealing structures that can be ...
Show more >We report on a new technique to form and seal microfabricated cells that alleviates some of the limitations imposed by current solutions. The technique consists in integrating single-use sealing structures that can be actuated through laser irradiation, either to isolate cavities from each other or to connect them. Inspired by the well-established glass-blowing techniques, it reproduces on a wafer the “make-seal” and “break-seal” features found in conventional cell filling setups. By allowing cells to be evacuated, filled and sealed after having been fully-formed, this technique opens new venues for atomic devices. Here, we demonstrate both features and present one use case where alkali dispensers are used in association with non-noble gasses despite their gettering ability.Show less >

Language :

Anglais

Peer reviewed article :

Oui

Audience :

Internationale

Popular science :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL