Versatile microfabricated alkali vapor ...
Document type :
Communication dans un congrès avec actes
Title :
Versatile microfabricated alkali vapor cells using local sealing
Author(s) :
Maurice, Vincent [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Chutani, Ravinder [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlé, Clément [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Keshavarzi, Shervin [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Queste, S. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Gauthier-Manuel, Ludovic [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cote, Jean-Marc [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Vicarini, Rémy [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Boudot, Rodolphe [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Passilly, Nicolas [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Acoustique Impulsionnelle & Magnéto-Acoustique Non linéaire - Fluides, Interfaces Liquides & Micro-Systèmes - IEMN [AIMAN-FILMS - IEMN]
Chutani, Ravinder [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Carlé, Clément [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Keshavarzi, Shervin [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Queste, S. [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Gauthier-Manuel, Ludovic [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Cote, Jean-Marc [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Vicarini, Rémy [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Boudot, Rodolphe [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Passilly, Nicolas [Auteur]
Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) [FEMTO-ST]
Conference title :
2022 International Frequency Control Symposium-European Frequency (IFCS-EFTF 2022)
City :
Paris
Country :
France
Start date of the conference :
2022-04-24
Book title :
2022 International Frequency Control Symposium-European Frequency (IFCS-EFTF 2022)
English keyword(s) :
alkali vapor cells
microfabrication
atomic devices
microfabrication
atomic devices
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]
English abstract : [en]
We report on a new technique to form and seal microfabricated cells that alleviates some of the limitations imposed by current solutions. The technique consists in integrating single-use sealing structures that can be ...
Show more >We report on a new technique to form and seal microfabricated cells that alleviates some of the limitations imposed by current solutions. The technique consists in integrating single-use sealing structures that can be actuated through laser irradiation, either to isolate cavities from each other or to connect them. Inspired by the well-established glass-blowing techniques, it reproduces on a wafer the “make-seal” and “break-seal” features found in conventional cell filling setups. By allowing cells to be evacuated, filled and sealed after having been fully-formed, this technique opens new venues for atomic devices. Here, we demonstrate both features and present one use case where alkali dispensers are used in association with non-noble gasses despite their gettering ability.Show less >
Show more >We report on a new technique to form and seal microfabricated cells that alleviates some of the limitations imposed by current solutions. The technique consists in integrating single-use sealing structures that can be actuated through laser irradiation, either to isolate cavities from each other or to connect them. Inspired by the well-established glass-blowing techniques, it reproduces on a wafer the “make-seal” and “break-seal” features found in conventional cell filling setups. By allowing cells to be evacuated, filled and sealed after having been fully-formed, this technique opens new venues for atomic devices. Here, we demonstrate both features and present one use case where alkali dispensers are used in association with non-noble gasses despite their gettering ability.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :
Files
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