Young modulus and Poisson ratio of PZT ...
Document type :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
DOI :
Title :
Young modulus and Poisson ratio of PZT thin film by Picosecond Ultrasonics
Author(s) :
Casset, F. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Devos, A. [Auteur]
Université de Lille
Centre Hospitalier Régional Universitaire [CHU Lille] [CHRU Lille]
Sadtler, S. [Auteur]
Le Louarn, A. [Auteur]
Emery, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Le Rhun, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Fanget, S. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Defay, E. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Devos, A. [Auteur]
Université de Lille
Centre Hospitalier Régional Universitaire [CHU Lille] [CHRU Lille]
Sadtler, S. [Auteur]
Le Louarn, A. [Auteur]
Emery, P. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Le Rhun, G. [Auteur]
Ancey, P. [Auteur]
Fanget, S. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Defay, E. [Auteur]
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information [CEA-LETI]
Conference title :
2012 IEEE International Ultrasonics Symposium
City :
Dresden
Country :
Allemagne
Start date of the conference :
2012-10-07
Publisher :
IEEE
English keyword(s) :
Picosecond Ultrasonics
Young modulus
Poisson ratio
PZT
Young modulus
Poisson ratio
PZT
HAL domain(s) :
Sciences de l'ingénieur [physics]/Micro et nanotechnologies/Microélectronique
English abstract : [en]
Thin-film sol-gel Pb(Zr 0.52 , Ti 0.48 )O 3 (PZT) can be used in many actuator applications thanks to its high piezoelectric coefficients. The accurate knowledge of its mechanical properties such as Young modulus (E) and ...
Show more >Thin-film sol-gel Pb(Zr 0.52 , Ti 0.48 )O 3 (PZT) can be used in many actuator applications thanks to its high piezoelectric coefficients. The accurate knowledge of its mechanical properties such as Young modulus (E) and Poisson ratio (ν ν) or stiffness matrix is a key point for predictive design, whereas the state of the art reports E PZT ranging from 70 to 139GPa. Those parameters can be accurately characterized by Picosecond Ultrasonics (PU) as detailed in this paper.Show less >
Show more >Thin-film sol-gel Pb(Zr 0.52 , Ti 0.48 )O 3 (PZT) can be used in many actuator applications thanks to its high piezoelectric coefficients. The accurate knowledge of its mechanical properties such as Young modulus (E) and Poisson ratio (ν ν) or stiffness matrix is a key point for predictive design, whereas the state of the art reports E PZT ranging from 70 to 139GPa. Those parameters can be accurately characterized by Picosecond Ultrasonics (PU) as detailed in this paper.Show less >
Language :
Anglais
Peer reviewed article :
Oui
Audience :
Internationale
Popular science :
Non
Source :
Files
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