Tests sur la HSQ en poudre de EMResist

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Tests sur la HSQ en poudre de EMResist
Auteur(s) :
Deblock, Yves [Auteur] refId
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boyaval, Christophe [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Elegbe, J. [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ouendi, Saliha [Auteur]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Tilmant, Pascal [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Vaurette, Francois [Auteur] refId
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Titre de la manifestation scientifique :
Rencontres 2023 Renatech Litho. Gravure
Ville :
Villeneuve d'Ascq
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2023-01-23
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Français
Comité de lecture :
Non
Audience :
Nationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL
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