Titre :

Nanorobotics and Automatic On-Wafer Probe Station with Nanometer Positionning Accuracy

Auteur(s) :

Mokhtari, Cerine [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN ]
Seck, Daouda [Auteur]
Laboratoire National de Métrologie et d’Essais [LNE]
Allal, Djamel [Auteur]
Laboratoire National de Métrologie et d’Essais [LNE]
Lenoir, Clément [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Sebbache, Mohamed [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Berthe, Maxime [Auteur]
Plateforme de Caractérisation Multi-Physiques - IEMN [PCMP - IEMN]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Haddadi, Kamel [Auteur]
Circuits Systèmes Applications des Micro-ondes - IEMN [CSAM - IEMN ]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

2023 IEEE MTT-S International Conference on Numerical Electromagnetic and Multiphysics Modeling and Optimization (NEMO)

Ville :

Winnipeg

Pays :

Canada

Date de début de la manifestation scientifique :

2023-06-28

Éditeur :

IEEE

Mot(s)-clé(s) en anglais :

On-wafer measurements
extreme impedance measurement
ground-signal-ground (GSG) probes
calibration
vector network analyzer (VNA)

Discipline(s) HAL :

Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]

Résumé en anglais : [en]

Precise and repeatable radiofrequency (RF) measurements call for innovative characterization techniques. In particular, the use of nanorobotics for on-wafer measurements is a viable solution to address RF characterization ...
Lire la suite >Precise and repeatable radiofrequency (RF) measurements call for innovative characterization techniques. In particular, the use of nanorobotics for on-wafer measurements is a viable solution to address RF characterization with enhanced alignment accuracy. In this work, we present the development of a nanorobotics and automatic on-wafer probing station designed and realized for GSG on-wafer millimetre-wave measurements.Lire moins >

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL