Titre :

Efficient numerical procedure for the impurity segregation during oxidation of arbitrarily shaped multilayer structure

Auteur(s) :

Collard, Dominique [Auteur]
Baccus, B. [Auteur]
Dubois, Emmanuel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]

Titre de la manifestation scientifique :

Proc. of the NASECODE VII conference

Ville :

Boulder

Pays :

Etats-Unis d'Amérique

Date de début de la manifestation scientifique :

1991

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL