Round-Trip Sensitivity-Bandwidth Optimization ...

Type de document :
Communication dans un congrès avec actes
DOI :
10.1109/ISAF53668.2023.10265321
Titre :
Round-Trip Sensitivity-Bandwidth Optimization and Characterization of High-Frequency PMUTs
Auteur(s) :
He, Leming [Auteur]
State Key Laboratory of ASIC and System
Lv, Ning [Auteur]
Xu, Wei Jiang [Auteur] refId
Transduction, Propagation et Imagerie Acoustique - IEMN [TPIA - IEMN]
Université Polytechnique Hauts-de-France [UPHF]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Wang, Yan [Auteur]
Beijing Institute of Technology [BIT]
Ren, Junyan [Auteur]
State Key Laboratory of ASIC and System
Titre de la manifestation scientifique :
2023 IEEE International Symposium on Applications of Ferroelectrics (ISAF)
Ville :
Cleveland
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de début de la manifestation scientifique :
2023-07-23
Éditeur :
IEEE
Discipline(s) HAL :
Physique [physics]
Sciences de l'ingénieur [physics]
Résumé en anglais : [en]
Piezoelectric micromachined ultrasonic transducers (PMUTs) are fabricated with Micro-Electro-Mechanical Systems (MEMS) processes. They have advantages such as high uniformity and density, high flexibility in array ...
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Langue :
Anglais
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
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