Titre :

Electrothermal measurements at boundaries including of metal-semiconductor structures ones by scanning thermal microscopy and 3ω method

Auteur(s) :

Acosta Abanto, Juan Carlos [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Brouillard, Mélanie [Auteur]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Dewitte, Marc [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Centrale de Micro Nano Fabrication - IEMN [CMNF - IEMN]
Robillard, Jean-François [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Microélectronique Silicium - IEMN [MICROELEC SI - IEMN]
Horny, Nicolas [Auteur]
Institut de Thermique, Mécanique, Matériaux [ITheMM]
Chapuis, Pierre-Olivier [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]
Gomés, Séverine [Auteur]
Centre d'Energétique et de Thermique de Lyon [CETHIL]

Titre de la manifestation scientifique :

Interface days

Ville :

Paris

Pays :

France

Date de début de la manifestation scientifique :

2023-07-10

Discipline(s) HAL :

Physique [physics]/Matière Condensée [cond-mat]/Autre [cond-mat.other]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Nationale

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Effets électriques sur les résistances thermiques d'interface

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL