Titre :

Ir-Rh thin films as high-temperature electrodes for surface acoustic wave sensor applications

Auteur(s) :

Taguett, Amine [Auteur]
Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique [SYMME]
Aubert, Thierry [Auteur]
Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique [SYMME]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Lomello, Marc [Auteur]
Laboratoire SYstèmes et Matériaux pour la MEcatronique [SYMME]
Legrani, Ouarda [Auteur]
Laboratoire Matériaux Optiques, Photonique et Systèmes [LMOPS]
Elmazria, Omar [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Ghanbaja, Jaafar [Auteur]
Institut Jean Lamour [IJL]
Talbi, Abdelkrim [Auteur]
Laboratoire International associé sur les phénomènes Critiques et Supercritiques en électronique fonctionnelle, acoustique et fluidique [LIA LICS/LEMAC]

Titre de la revue :

Sensors and Actuators A: Physical

Pagination :

35-42

Éditeur :

Elsevier

Date de publication :

2016-03

ISSN :

0924-4247

Mot(s)-clé(s) en anglais :

Ir-Rh electrodes
multilayers film
SAW
high-temperature

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Comité de lecture :

Oui

Audience :

Internationale

Vulgarisation :

Non

Projet ANR :

Micro-capteur à ondes élastiques de surface à base de structures AlN/Saphir pour des températures extrêmes

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL