Titre :

SOI-based nanoelectrospray emitter tips for mass spectrometry: a coupled MEMS and microfluidic design

Auteur(s) :

Legrand, Bernard [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Ashcroft, Alison [Auteur]
University of Leeds
Buchaillot, Lionel [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Arscott, Steve [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]

Titre de la revue :

Journal of Micromechanics and Microengineering

Pagination :

509-514

Éditeur :

IOP Publishing

Date de publication :

2007-03-01

ISSN :

0960-1317

Discipline(s) HAL :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Langue :

Anglais

Vulgarisation :

Non

Collections :

• Institut d'Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie (IEMN) - UMR 8520

Source :

Harvested from HAL