Microelectromechanical System Comprising ...

Type de document :
Brevet
Titre :
Microelectromechanical System Comprising a Deformable Portion and a Stress Sensor
Auteur(s) :
Arscott, Steve [Auteur] refId
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Pays :
Etats-Unis d'Amérique
Date de publication :
2009-12-10
Numéro du brevet :
US20090301176A1
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Anglais
Collections :
Source :
Harvested from HAL