Croissance de couches minces d'oxyde de ...

Type de document :
Autre communication scientifique (congrès sans actes - poster - séminaire...): Communication dans un congrès avec actes
Titre :
Croissance de couches minces d'oxyde de cérium sur un substrat de silicium
Auteur(s) :
Ta, Minh-Tri [Auteur]
Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg [LUSAC]
Briand, David [Auteur]
Guhel, Yannick [Auteur]
Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg [LUSAC]
Bernard, Jérôme [Auteur]
Pesant, J.C. [Auteur]
Institut d’Électronique, de Microélectronique et de Nanotechnologie - UMR 8520 [IEMN]
Boudart, B. [Auteur]
Laboratoire Universitaire des Sciences Appliquées de Cherbourg [LUSAC]
Titre de la manifestation scientifique :
Congrès annuel de la Société Française de Physique
Ville :
Grenoble
Pays :
France
Date de début de la manifestation scientifique :
2007
Discipline(s) HAL :
Sciences de l'ingénieur [physics]
Langue :
Français
Comité de lecture :
Oui
Audience :
Internationale
Vulgarisation :
Non
Collections :
Source :
Harvested from HAL